硅微粉中的氮元素的存在，好像是好處多于壞處。氮能夠增加硅材料的機械強度，抑制微缺陷，促進氧沉淀。浙江大學國家硅材料重點實驗室的闕端麟先生首創(chuàng)氨氣氛下拉單晶，就是利用氮的這些優(yōu)點的。但是，在物理法多晶硅微粉的生產(chǎn)過程中，由于不少是采用氮氣保護，而且坩堝涂層里面的氮化硅在高溫下也會部分與硅反應(yīng)，或者氮化硅顆粒直接進入硅液中，將導致細晶的產(chǎn)生，增加晶界數(shù)量，最終影響太陽能電池的性能。在多晶硅的結(jié)晶過程中，氮還可以與氧作用，形成氮氧復合體，影響材料的電學性能。但由于氮氫復合體是淺能級，而且氮的固溶度很低，因此，對材料的影響不是很大。總體說來，如果C、0、N等元素的雜質(zhì)濃度能夠小于10^20ppm， 那么，對作為太陽能用途的硅材料來說：就沒有什么副作用了。主要還是由于這些元素的性質(zhì)比較活躍，容易形成化合物，之后被從硅材料中帶出的緣故。