目前，硅微粉的制備方法主要包括物理法和化學(xué)法，物理法包括高溫熔融噴射法、等離子體法、火焰成球法。高溫熔融噴射法是將高純度石英在2100~ 2500℃下熔融為液體，經(jīng)過噴霧、冷卻，得到球形硅微粉。此法最易保證球化率和無定形率，但不易解決純度和霧化粒徑調(diào)整等問題；等離子體法的基本原理是利用等離子矩的高溫區(qū)將二氧化硅粉體熔化，由于液體表面張力的作用形成球形液滴，在快速冷卻過程中形成球形化顆粒。此法能量高、傳熱快、冷卻快，制備的產(chǎn)品形貌可控、純度高、無團(tuán)聚；火焰成球法首先對(duì)進(jìn)行粉碎、篩分、提純等前處理，然后將石英微粉送入燃?xì)狻鯕猱a(chǎn)生的高溫場(chǎng)中，進(jìn)行高溫熔融、冷卻成球，最終形成高純度球形硅微粉，與等離子法和高溫熔融噴射法相比更易控制，更能實(shí)現(xiàn)工業(yè)化大規(guī)模生產(chǎn)，也是更具發(fā)展前途的生產(chǎn)工藝。