硅微粉的化學制備方法主要包括氣相法、溶膠－凝膠法、沉淀法、微乳液法、水熱合成法、氣相法是由硅的鹵化物在高溫下水解制得的一種精細、特殊的無定形粉體材料，純度大于99. 8%，比表面積為100~400 m²/g，折射率為1. 46且介電性極好的SiO₂；溶膠－凝膠法是金屬有機或無機化合物經(jīng)過溶液、溶膠、凝膠而固化，再經(jīng)熱處理而形成的氧化物或其他化合物固體的方法。此法的優(yōu)點是化學均勻性好、顆粒細、純度高、設備簡單，粉體活性高；沉淀法以水玻璃和酸化劑為原料，適時加入表面活性劑，控制反應溫度，在沉淀溶液pH 值為8 時加穩(wěn)定劑，所得沉淀經(jīng)洗滌、干燥，煅燒后形成硅微粉。沉淀粒生產(chǎn)的硅微粉徑均勻且成本低，工藝易控制，有利于工業(yè)化生產(chǎn)；微乳液法是利用兩種互不相溶的溶劑在表面活性劑的作用下形成均勻的乳液，使成核、生產(chǎn)、聚結、團聚等過程局限在一個微小的球形液滴內(nèi)，從乳液中析出固相，形成球形顆粒，具有粒度分布窄、粒徑可控、分散性好等優(yōu)點；水熱合成法一般在100~350℃ 溫度和高壓環(huán)境下，使無機和有機化合物與水化合，通過對加速滲析反應和物理過程的控制，得到改進的無機物，再經(jīng)過濾、洗滌、干燥，得到高純、超細的微粒子。水熱法的優(yōu)點是可直接生成氧化物，降低了硬團聚的形成幾率。