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雜質(zhì)對硅微粉的影響

發(fā)布時間:2022-05-25 15:07:03人氣:

因為治金硅微粉材料的雜質(zhì)較多,雜質(zhì)成分較復雜,其中不少雜質(zhì)會與氧發(fā)各種各樣的復合作用,因而可能會影響硅微粉材料的壽命。而用治金法的硅材料拉單晶的時候,因為硅棒的邊緣比中間先結(jié)晶(在切割硅片的平面上,由于分凝效應,雜質(zhì)向中部富集,導致每個硅片中都的雜質(zhì)偏高。因此,硅片中的少子壽命較短,邊緣的少子壽命較長。引起這種現(xiàn)象的雜質(zhì),應該主要是金屬雜質(zhì),尤其是鐵、鋁、鈣,以及碳。對于化學法的多晶硅微粉材料來說,因為雜質(zhì)較少,因此這個現(xiàn)象不明顯,所以沒有這個現(xiàn)象。但是這個現(xiàn)象是治金法多晶硅微粉不可避免的現(xiàn)象,則有失準確。實際上,有學者研究過,在后續(xù)的硅料中,經(jīng)過拉品切片后,就已經(jīng)不存在此現(xiàn)象??梢?,物理法多晶硅微粉也是可以避免這個現(xiàn)象的,關鍵還是在雜質(zhì)是否能夠充分去。

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